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Laurell 650勻膠機 產品特點:
美國Laurell WS-650Mz-23NPPB 勻膠旋涂儀 采用NPP外殼材質,PLC控制,速度可調節,在啟動之后一般工藝先以低速運轉使膠攤開,然后自動變到高速運轉,步驟轉速及相應的時間分別可調;
Laurell 650勻膠機 WS-650Mz-23NPPB 技術參數:
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑圓片,方片125x125mm;
3、轉動速度:100-12,000rpm,
4、旋涂加速度:1-12000rpm/sec(空載);
5、馬達旋涂轉速:穩定性能誤差<± 1 %;
6、轉速調節精度:1rpm,重復性1rpm;
7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
9、設備控制器:PLC控制,按鍵式操作。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
11、高認證:美國國家標準技術研究院(NIST)認證;
12、配套真空泵系統:無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、售后服務:提供上門現場 或 遠程在線 安裝培訓,用戶可靈活選擇;
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